无源无线声表面波压力传感器校准技术研究

doi:10.12060/j.issn.1000-7202.2019.04.05

宇航计测技术

无源无线声表面波压力传感器校准技术研究

白天¹；闫磊¹；孙凤举¹；冯辉²；王小三¹；程利娜³；李红浪³

1、北京航天计量测试技术研究所，北京 100076；2、北京宇航系统工程研究所，北京 100076；
3、中国科学院声学研究所，北京 100190

出版日期:2019-08-25 发布日期:2019-08-25
作者简介:白天（1988-），男，博士，高级工程师，主要研究方向：声学、振动、冲击计量测试技术。
基金资助:
航天一院技术创新项目（JTBL11706）。

Calibration Technology of the Passive Wireless SAW Pressure Sensor

BAI Tian¹；YAN Lei¹；SUN Feng-ju¹；FENG Hui²；WANG Xiao-san¹；CHENG Li-na³；LI Hong-lang³

1、Beijing Aerospace Institute for Metrology and Measurement,Beijing 100076,China；
2、Beijing Institute of Astronautical Systems Engineering,Beijing 100076,China；
3、The Institute of Acoustics of the Chinese Academy of Sciences,Beijing 100190.China

Online:2019-08-25 Published:2019-08-25

摘要/Abstract

摘要： 声表面波压力传感器是一种新型传感器，它的一大优势是具有无源无线信号传递特性，可以突破传统传感器线缆连接的限制，近年来受到国内外研究机构普遍重视。本文探讨了SAW压力传感器的校准技术，对某种商业传感器进行校准，使用最小二乘法分析校准结果，并进行不确定度评估。校准结果显示该传感器在误差、线性、重复性等方面可满足一定精度要求，通过进一步发展，有望在航天领域得到实际应用。

关键词: 声表面波, 压力传感器, 无源无线, 校准

Abstract: Surface acoustic wave (SAW) pressure sensors have been got more attention by both domestic and foreign research institutions recent years as a new kind of sensor which have the benefits of wireless and powerless transmission features and could break through the limitation of wire connections for the traditional sensors. The calibration technology of SAW pressure sensors was discussed and the calibration of a kind of commercial sensor was carried out. The calibration results were processed by the least square method and the uncertainty was evaluated. The results showed that the sensor can meet certain accuracy requirements on the index such as error, linear and repeatability. This sensor is quite hopeful to get practical application in the aerospace engineering after further development.

Key words: Surface acoustic wave, Pressure sensor, Passive wireless, Calibration

白天；闫磊；孙凤举；冯辉；王小三；程利娜；李红浪. 无源无线声表面波压力传感器校准技术研究[J]. 宇航计测技术, doi: 10.12060/j.issn.1000-7202.2019.04.05.

BAI Tian；YAN Lei；SUN Feng-ju；FENG Hui；WANG Xiao-san；CHENG Li-na；LI Hong-lang. Calibration Technology of the Passive Wireless SAW Pressure Sensor[J]. JOURNAL OF ASTRONAUTIC METROLOGY AND MEASUREMENT, doi: 10.12060/j.issn.1000-7202.2019.04.05.

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Calibration Technology of the Passive Wireless SAW Pressure Sensor

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