宇航计测技术 ›› 2021, Vol. 41 ›› Issue (6): 68-75.doi: 10.12060/j.issn.1000-7202.2021.06.13
钟山, 高炳涛, 岑格, 王小三, 任大呈
ZHONG Shan, GAO Bing-tao, CEN Ge , WANG Xiao-san, REN Da-cheng
摘要: 介绍了近年来微纳力值测试技术的发展现状。微纳力值测量方法、测量及研究成果,并进行了不同测试方法的对比,指出了不同测试方法的特点和适用性。基于当前微纳测量领域发展趋势,结合行业发展需求,提出了微纳力值测试技术研究应注意的问题。