恒压式气体流量计变容室截面面积测量技术研究

doi:10.12060/j.issn.1000-7202.2012.05.14

宇航计测技术

恒压式气体流量计变容室截面面积测量技术研究

赵澜¹；冯焱¹；成永军¹；张涤新¹；张瑞芳¹

1、兰州空间技术物理研究所，甘肃兰州 730000

出版日期:2012-10-15 发布日期:2012-10-15

Research on Section Area Measurement Technology of Variable Volume Chamber for Constant-pressure Gas Flow Meter

ZHAO Lan¹；FENG Yan¹；CHENG Yong-jun¹；ZHANG Di-xin¹；ZHANG Rui-fang¹

1、Lanzhou Institute of Physics, Lanzhou,Gansu 730000

Online:2012-10-15 Published:2012-10-15

摘要/Abstract

摘要： 为了研制恒压式气体微流量计，设计了以波纹管为主体的变容室，并对波纹管变容室截面面积进行了测量。采用多项式拟合公式对波纹管截面面积测量结果进行了修正，避免了波纹管非线性的影响，结果表明修正后偏差小于0.16%，截面面积的测量结果合成标准不确定度小于0.53%，可以满足使用要求。

关键词: ⁺恒压式气体微流量计, ⁺波纹管变容室, 截面面积, 测量

Abstract: For developing constantpressure l gas micro-flow meter, the bellows variable volume chamber has been designed. And the section area has been measured. The section area value of bellow variable volume chamber is corrected by polynomial formula to avoid non-linearity effect of bellows. The corrected deviation is less than 0.16%, and the relative combined standard uncertainty of measurement is less than 0.53%.

Key words: ⁺Constant-pressure gas flow meter, ⁺Bellow variable volume chamber, Section area, Correction a measurement

赵澜；冯焱；成永军；张涤新；张瑞芳. 恒压式气体流量计变容室截面面积测量技术研究[J]. 宇航计测技术, doi: 10.12060/j.issn.1000-7202.2012.05.14.

ZHAO Lan；FENG Yan；CHENG Yong-jun；ZHANG Di-xin；ZHANG Rui-fang. Research on Section Area Measurement Technology of Variable Volume Chamber for Constant-pressure Gas Flow Meter[J]. JOURNAL OF ASTRONAUTIC METROLOGY AND MEASUREMENT, doi: 10.12060/j.issn.1000-7202.2012.05.14.

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恒压式气体流量计变容室截面面积测量技术研究

Research on Section Area Measurement Technology of Variable Volume Chamber for Constant-pressure Gas Flow Meter

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