在片S参数测量系统校准技术研究

在片S参数测量系统校准技术研究

吴爱华；孙静；刘晨；梁法国；郑延秋

Study on the Calibration Technology of On-wafer S-parameter Measurement System

WU Ai-hua；SUN Jing；LIU Chen；LIANG Fa-guo；ZHENG Yan-qiu

宇航计测技术 . 2015, (5): 11 -16 . DOI: 10.12060/j.issn.1000-7202.2015.05.03