多介质气体微小流量标准装置设计探讨

多介质气体微小流量标准装置设计探讨

王俊涛；桑培勇；信彦峰；卜庆娟；贾正红

Discussion on Design of Various Mediums Gas Micro-flow Standards

WANG Jun-tao；SANG Pei-yong；XIN Yan-feng；BU Qing-juan；JIA Zheng-hong

宇航计测技术 . 2015, (3): 66 -70 . DOI: 10.12060/j.issn.1000-7202.2015.03.14