PCM设备电流参数在片校准方法研究

PCM设备电流参数在片校准方法研究

丁晨, 刘岩, 乔玉娥, 翟玉卫, 吴爱华

Research on On-wafer Calibration Method for PCM Equipment Current Parameters

DING Chen, LIU Yan, QIAO Yue, ZHAI Yuwei, WU Aihua

宇航计测技术 . 2024, (5): 45 -49 . DOI: 10.12060/j.issn.1000-7202.2024.05.07