宇航计测技术 ›› 2021, Vol. 41 ›› Issue (3): 73-78.doi: 10.12060/j.issn.1000-7202.2021.03.13

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非接触式静电放电波形分析及试验

赵丹1；吴桂林1；朱继芳2；黄昀2   

  1. 1.四川航天计量测试研究所，四川成都 610100； 2.四川航天技术研究院，四川成都 610100
  • 出版日期:2021-06-25 发布日期:2022-03-07
  • 作者简介:赵丹（1988.09-），女，工程师，本科，主要研究方向：电子测试及电路设计技术。

Waveform Analysis and Test of Non-contact Electrostatic Discharge

ZHAO Dan1；WU Gui-lin1；ZHU Ji-fang2；HUANG Yun2   

  1. 1.Sichuan Aerospace Measurement Testing Research Institute,Chengdu 610100,China;
    2.Sichuan Academy of Aerospace Technology,Chengdu 610100,China
  • Online:2021-06-25 Published:2022-03-07

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摘要： 静电放电（Electrostatic Discharge，ESD）作为一种常见的近场危害源，在其放电过程中可形成高电压和瞬时大电流，使得器件的安全性能大大下降，并影响半导体器件的电学特性。本文对火工品静电感度试验装置非接触放电时的等效电路模型进行分析，并根据等效电路进行仿真，研制试验装置，针对电容与电阻的不同组合进行放电试验，验证仿真结果以及电阻电容对静电放电的影响。

关键词: 静电放电, 静电感度, 非接触式

Abstract: Electrostatic discharge is a common near-field hazard source,during which high voltage and instantaneous large current can be formed.Electrostatic discharge reduces the safety performance of the device and affects the electrical characteristics of semiconductor devices.This paper analyzes the equivalent circuit model in the electrostatic sensitivity test device for initiating explosive device during non-contact discharge and simulates circuit according to the equivalent circuit.A test device was developed to conduct discharge tests for different combinations of capacitor and resistor,and to verify the simulation results and the influence of resistor and capacitor on ESD.

Key words: Electrostatic Discharge(ESD), Electrostatic sensitivity, Non-contact

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