宇航计测技术 ›› 2021, Vol. 41 ›› Issue (1): 43-47.doi: 10.12060/j.issn.1000-7202.2021.01.08
冯天佑;成永军;陈联;赵澜;孙冬花;张瑞年
FENG Tian-you;CHENG Yong-jun;CHEN Lian;ZHAO Lan;SUN Dong-hua;ZHANG Rui-nian
摘要: 通过静态膨胀法与固定流导法获得了(10-9~10-14)Pam3/s的氦标准气体流量,并采用静态累积法对所产生的极小气体流量进行了测量,相应的氦离子流上升率在(10-10~10-15)A/s范围。实验结果表明:气体流量静态累积时的离子流波动随流量降低逐渐增大,降至1.69×10-14Pam3/s时,多个数据点已偏离上升率拟合线较远,此时达到测量下限。在(10-9~7.66×10-12)Pam3/s范围,气体流量与对应离子流上升率有很好的线性,最大偏差为6.8%;当气体流量小于7.66×10-12Pam3/s时,标准流量与离子流上升率的对应关系呈现出明显的非线性。
中图分类号: